基于大气压低温等离子体沉积的高温电容器薄膜制备方法

摘要

本发明公开了一种基于大气压低温等离子体沉积的高温电容器薄膜制备方法，通过大气压低温等离子沉积技术在聚合物电容器薄膜表面沉积具有高绝缘性能的薄层，在金属电极和聚合物电容器薄膜之间引入高绝缘性能薄层，利用高绝缘性能薄层具有宽能带隙的特点，将其作为电荷阻挡层，从而有效抑制高温高电场作用下由于电极处的电荷注入而形成的泄漏电流，进而提高聚合物电容器薄膜在高温高电场作用下的充放电效率，达到提高其工作温度的目的。