公开/公告号CN108475654A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201680079106.2
发明设计人 西蒙·刘;沃尔夫冈·布什贝克;
申请日2016-01-18
分类号
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-06-19 06:20:12
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-09-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/677 申请日:20160118
实质审查的生效
2018-08-31
公开
公开
机译: 用于基板的真空处理的设备,用于基板的真空处理的系统以及在真空室中传送基板载体和掩模载体的方法
机译: 用于在真空室中运输基板载体的设备,用于对基板进行真空处理的系统以及用于在真空室中运输基板载体的方法
机译: 用于在真空室中运输基板载体的设备,用于对基板进行真空处理的系统以及用于在真空室中运输基板载体的方法