法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/04 申请日:20170224
实质审查的生效
2018-11-02
公开
公开
机译: 用于基板的真空处理的设备,用于基板的真空处理的系统以及在真空室中传送基板载体和掩模载体的方法
机译: 用于对基板进行真空处理的设备,用于对基板进行真空处理的系统以及在真空室中传输基板载体和掩模载体的方法
机译: 用于基板的真空处理的设备,用于基板的真空处理的系统以及在真空室中转移基板载体和掩模载体的方法