微机械构件、基于微镜的激光系统以及用于监控基于微镜的激光系统的方法

摘要

本发明提供一种用于基于微镜的激光系统的微机械构件，所述微机械构件用于探测入射的激光射束。为此，在微机械构件中，将两个传感器二极管布置在共同的衬底上，其中，两个传感器二极管中的仅一个实施成光电二极管。另外的传感器二极管提供与光入射无关的输出信号。通过比较两个二极管的两个输出信号可以推断出微机械构件中的光入射。