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栗大超; 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐;
中国微米/纳米技术学会;
中国仪器仪表学会;
中国机械工程学会;
MEMS; 扭转微镜; 硅微加工; SOI; 复合驱动; 表面粗糙度;
机译:复合静电驱动结构致动的微扭力镜
机译:静电驱动扭转微镜静态拉入分析的解析闭合模型
机译:静电驱动扭转微镜的建模和控制
机译:用复合静电驱动结构制造新型扭转镜微致动器的表面和散装混合硅微机械
机译:基于原子力显微镜的自动和遥控机械微/纳微钳制。
机译:基于微通道和微引脚芯片的硅与硅直接粘接的微通道和微销翅片的实验研究
机译:含有微硅和胶态微硅的自排水铝零水泥耐火浇注料的热机械强度含有微硅和微硅,胶态二氧化硅的自流零水泥高铝浇注料的高温机械强度
机译:静电驱动双晶片微镜的分段控制。
机译:静电驱动模具微镜装置无效的微镜
机译:静电驱动微镜及使用该微镜的同一光开关的制造方法
机译:-静电驱动微镜装置以及使用该微镜装置的光学拾取系统
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