晶圆测试监控接触电阻按需清针的方法

摘要

本发明涉及一种晶圆测试监控接触电阻按需清针的方法，只需在测试过程中增加对接触电阻进行测试的测试项，实时监测接触阻抗，当超出控制范围立即通知探针台进行清针。清针后仍会测试接触阻抗，保证起到有效的清针效果。灵活的清针操作，即达到效果，减少接触阻抗带来的误测问题，又节省了测试时间，减少了探针卡的过度消耗。延长探针卡寿命。