一种柔性阵列气体传感器芯片

摘要

本发明提供了一种柔性阵列气体传感器芯片，包括柔性衬底层、形成于柔性衬底层上的柔性透明导电层、形成于柔性透明导电层上的柔性第一中间层、形成于柔性中间层中的金属导电层、形成于金属导电层上的柔性第二中间层以及形成于柔性第二中间层上的柔性表面层，其中，在所述柔性第一中间层中形成每个探测孔之间互相间隔设置的探测孔阵列结构，探测孔底部填充气体敏感材料，所述气体敏感材料选择为分别检测不同种类气体的敏感材料，解决了目前气体传感器不适用弯折情形的问题，使气体传感器能够实现柔性，同时采用阵列式探测结构，在同一个传感器中实现对不同气体的探测，合理设计了电极分布及探测位点。