一种基于可打印微米线阵列敏感层的柔性气体传感器及其制备方法

摘要

一种基于可打印锗酸锌微米线阵列敏感层的柔性气体传感器及其制备方法，属于柔性电阻式气体传感器技术领域。本发明所述的传感器是以锗酸锌微米线阵列作为器件的敏感层，将锗酸锌微米线阵列直接打印在柔性聚二甲酸乙二醇酯衬底表面，微米线与微米线间距为100～300μm、微米线直径范围为8～12μm，然后利用表面沉积法在锗酸锌微米线阵列的两端沉积与微米线阵列径向垂直的两个彼此分立的纳米线电极，电极之间间距为10～80μm，电极厚度为80～150nm，形成柔性电阻式气体传感器。本发明具有制备方法简单环保、成本低的特点，微米线阵列具有好的一维结构，有利于电子传输，进而提高器件性能，可广泛应用在可穿戴电子领域。