部分刻蚀的相变光学元件

摘要

一种光学元件(透射式或反射式)，包括透射层，该透射层包括两种不同的光学介质，这两种不同的光学介质被布置在沿着层布置的离散块之中。该离散块被布置成接近所期望的相位函数(通常取2π模数)并且该离散块小于工作波长，以便提供所需要的相位延迟的范围以充分地接近所期望的相位函数。