机译:无掩模电感耦合等离子体(ICP)蚀刻纳米结构GaN的可控过程
机译:无掩模湿法刻蚀形成的硅基光子纳米结构的几何形状及其对光学性能的影响
机译:无掩模湿蚀工艺控制光子纳米结构中的浸蚀形状及其对光学性能的影响
机译:带有体积全息光学元件的透镜光栅聚光光伏光谱分离系统
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:集光谱分离混合光伏 - 热(PV-T)太阳能收集器和系统效率限制
机译:等离子体化学蚀刻形成衍射光学元件的制造方法形成标准乐点图像