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于磊; 杨双宁; 刘学青; 李德辉;
吉林大学集成光电子学国家重点实验室;
长春130012;
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;
北京100084;
超快激光; 半导体加工技术; 离子束刻蚀; 碳化硅; 微光学元件;
机译:飞秒激光微加工作为光流学和量子光学的辅助工具
机译:飞秒激光辅助湿法刻蚀GaN的精细加工
机译:飞秒激光微加工和化学刻蚀制造高灵敏度折射率光纤在线马赫曾德尔干涉仪
机译:飞秒激光微加工玻璃中的微光学元件
机译:飞秒激光微加工技术,材料加工与评价
机译:飞秒激光辅助化学刻蚀制造的用于液体折射率传感的准周期凹微透镜阵列
机译:基于衍射光学元件和色散补偿飞秒脉冲的并行激光微加工
机译:氯离子束辅助微加工制备单片二维Gaas / alGaas激光器阵列
机译:用于微湿刻蚀光学透明材料的激光辅助深加工装置
机译:激光微加工全光纤型光学元件的制备方法
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