一种基于液体辅助飞秒激光在线刻蚀的微通道加工系统

摘要

本发明涉及一种基于液体辅助飞秒激光在线刻蚀的微通道加工系统，属于飞秒激光应用技术领域。本发明的微通道加工系统，包括飞秒激光器、光学元件以及容器、六维平移台和工业照相机等；飞秒激光器出射的飞秒激光经准直系统后入射到加工物镜的上方，经加工物镜聚焦后照射在位于六维平移台上容器内的待加工样品上。本发明的微通道加工系统，由于是在刻蚀液中进行飞秒激光扫描改性或是烧蚀，伴随着化学刻蚀的同步进行，因此能够实现高效率、高质量、高深径比的微通道烧蚀，完成较复杂的3D结构的直接加工。