退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
徐作冬; 刘颖; 徐向东; 徐德权; 付绍军;
中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029;
刻蚀深度; 在线榆测; 扫描离子束刻蚀; 等厚干涉; 衍射光学元件;
机译:结合扫描俄歇电子显微镜对复杂三维样品进行深度剖析的离子刻蚀方法
机译:GaAs电感耦合等离子体刻蚀的刻蚀机理和刻蚀深度分布
机译:通过直接DUV激光刻蚀制造的硫族化物玻璃层中的高效衍射光学元件
机译:利用离子束刻蚀增强RIE刻蚀的衍射光学元件表面。
机译:深度反应离子刻蚀的单晶硅器件的热迁移结隔离及其在惯性导航系统中的应用。
机译:通过深度反应离子刻蚀朝着微创诊断的方向制造锋利的硅空心微针
机译:用于焦点深度延伸的多路复用相衍射光学元件的设计
机译:基于p扫描计算机的超声波在线检测系统综述。补编1
机译:刻蚀深度检测装置,刻蚀装置,刻蚀深度检测方法,刻蚀方法和制造半导体装置的方法
机译:使用扫描衍射光学元件进行深度测量
机译:用于制造DRAM单元的硅衬底隔离沟槽刻蚀方法,涉及对准刻蚀气体成分,以使衬底的两个不同大小的上表面部分的刻蚀深度具有相同的大小
抱歉,该期刊暂不可订阅,敬请期待!
目前支持订阅全部北京大学中文核心(2020)期刊目录。