电化学刻蚀InP过程中电流密度对刻蚀深度的影响

摘要

文章通过进行电化学阳极刻蚀InP实验研究了在电化学刻蚀过程中电流密度发生变化时对刻蚀速率的影响并分析了其原因,实验结果表明:在其他电化学参数不变的情况下,刻蚀速率与电流密度呈线性关系.