机译:在CH4 / H2反应离子刻蚀中通过InP的选择性刻蚀来制造两深度切趾光栅
NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan;
NTT Photonics Laboratories, NTT Corporation, Atsugi, Kanagawa 243-0198, Japan;
机译:通过CH_4 / H_2反应离子刻蚀在InP表面亚微米节距光栅中进行选择性刻蚀时,选择性对等离子体条件的依赖性
机译:结合反应离子束刻蚀和反应离子刻蚀在InAsP / InP膜中制造高质量因子光子晶体微腔
机译:级联反应离子刻蚀/电感耦合等离子体刻蚀InGaAsP / InP双浅脊矩形环形激光光子集成电路的制备与表征
机译:使用H2 / CH4和H2 / CH4 / Ar混合物对ZnO进行反应性离子刻蚀
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:通过深反应离子蚀刻制造高纵横比硅光栅
机译:通过两级分数阶乘设计工艺优化对CH4 / H2对p-InGaP的反应离子刻蚀
机译:磁控反应离子刻蚀Gaas和aIGaas在CH4 / H2 / ar等离子体中的应用