O2反应离子刻蚀在全息离子束刻蚀衍射光栅中的应用

摘要

O<,2>反应离子刻蚀是微细加工领域图形转移、去除残余光刻胶和超细线产生的一种有效方法.本文介绍了O<,2>反应离子刻蚀在全息离子刻蚀衍射光栅制作中的应用,给出了实验结果.