电流密度对电解刻蚀精度及表面质量的影响

摘要

就不同电流密度对电解刻蚀精度及表面质量的影响进行了研究.结果表明,电流密度过大,表面质量较好,但杂散腐蚀现象严重;电流密度过小,精度较高但表面质量差,会出现不均匀腐蚀如点蚀、缝隙腐蚀等现象.当发生均匀腐蚀时,不同区域面积的表面质量相差不大.因此当电解刻蚀电流密度确定时,在均匀腐蚀的条件下应选择较小的电流密度,同时还要结合图案特征进行小范围参数优化.