真空干燥设备及使用真空干燥设备制造膜的方法

摘要

公开了真空干燥设备和制造膜的方法，真空干燥设备包括：腔；衬底安装板，布置在腔中；挡板，在腔中布置在衬底安装板之上，挡板与衬底安装板间隔开并且面对衬底安装板，并且具有多个通孔；气体分配管，在腔中布置在挡板之上；以及多个喷嘴尖部，从气体分配管伸出并且穿透挡板的通孔，多个喷嘴尖部配置为向衬底安装板喷射气体。