干法蚀刻设备及蚀刻方法

摘要

本发明所提供的干法蚀刻设备包括能够彼此隔离的至少一个主蚀刻制程腔和至少一个后处理制程腔，所述主蚀刻制程腔使用含氯的蚀刻介质对待加工产品进行蚀刻，所述后处理制程腔使用含氟的置换介质将经蚀刻后所述待加工产品上残留的氯离子置换成氟离子。本发明所提供的干法蚀刻方法：将待加工产品传送到主蚀刻制程腔内；向所述主蚀刻制程腔内通入含氯的蚀刻介质，以对所述待加工产品进行蚀刻；将蚀刻后的待加工产品传送到后处理制程腔；向所述后处理制程腔内通入含氟的置换介质，以将进行所述待加工产品残留的氯离子置换成氟离子本发明解决了现有技术中蚀刻残留对主蚀刻制程的影响，大大提升产品良率，提高生产效率，并延长了设备保养周期。