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机译:用离子束蚀刻结合单点金刚石蚀刻微型蚀刻微塑料蚀刻微塑料蚀刻的新方法及机理
Beijing Inst Technol Key Lab Fundamental Sci Adv Machining 5 Zhongguancun South St Beijing 100081 Peoples R China;
Beijing Inst Technol Sch Mech Engn 5 Zhongguancun South St Beijing 100081 Peoples R China;
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SPDT; IBE; SiC; Mold; Microlens array;
机译:用离子束蚀刻结合单点金刚石蚀刻微型蚀刻微塑料蚀刻微塑料蚀刻的新方法及机理
机译:XPS对离子束刻蚀和反应离子束辅助化学刻蚀处理的单晶金刚石芯片损伤评估的研究
机译:通过两步法组合微观化和精密抛光的两步法制造微透镜阵列模具
机译:注射成型微透镜阵列模具镶件的新型制造方法
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:三维金刚石微舱阵列显微镜塑料微透镜阵列的制造
机译:单晶金刚石微透镜阵列的反射/透射共聚焦显微镜表征