法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-06-12
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01J37/32 申请公布日:20170111 申请日:20161014
发明专利申请公布后的视为撤回
2017-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20161014
实质审查的生效
2017-01-11
公开
公开
机译: 用于制造p型氮化镓化合物半导体的方法,用于激活包含在氮化镓化合物半导体中的p型杂质的方法以及用于激活包含在氮化镓化合物半导体中的p型杂质的设备
机译: 并且获得了一种用于获得含镓氮化物块状单晶的方法中的晶体中去除杂质的工艺,用于制造由含镓氮化物块状单晶制成的基板的方法。
机译: 获得含镓氮化物块状单晶的方法,从晶体中除去杂质的所得方法以及制造由含镓氮化物块状单晶制成的基板的方法