氮化镓中铬含量的二次离子质谱分析方法研究

摘要

本文采用二次离子质谱仪检测氮化镓材料中离子注入Cr的浓度,使用相对灵敏度因子法对氮化镓中Cr含量定量分析,为相关生产工艺和实验研究提供参考。