一种基于洛伦兹力的新型离面MEMS开关

摘要

本发明提供一种基于洛伦兹力的新型离面MEMS开关，包括：一衬底；一对称吸合板，通过依次相连的一矩阵驱动梁和一单悬臂梁，与一固定于所述衬底上的固定锚点连接，该矩阵驱动梁处于一磁场施加区域；一金属对称吸合板，固定于所述衬底上，位于所述对称吸合板的下方；所述衬底为玻璃片；所述对称吸合板上设有一金属电极；所述金属电极通过压焊金属丝引出，该压焊金属丝的数量根据驱动电流大小而定；所述固定锚点上设有一金属电极；所述矩阵驱动梁由多个驱动梁组成；所述固定锚点与所述衬底键合连接；采用SOG体硅工艺制作所述新型离面MEMS开关；所述单悬臂梁、矩阵驱动梁和对称吸合板为低阻硅。