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机译:洛伦兹力驱动的新型大侧向行程MEMS执行器
MEMS actuator; Lorentz force; large stroke; linear control;
机译:洛伦兹力驱动的新型大侧向行程MEMS执行器
机译:硅上压电压电洛伦兹力横向场磁强计
机译:压电对硅MEMS Lorentz力横向场磁力计
机译:线性低驱动电压MEMS执行器,具有由洛伦兹力驱动的大侧向冲程
机译:洛伦兹力MEMS磁传感器的系统设计。
机译:基于洛伦兹力的CMOS-MEMS磁场传感器的光学表征
机译:非线性,洛伦兹力和机械冲击下的静电驱动MEMS的建模与分析