一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器

摘要

本发明描述了一种基于洛伦兹力执行的双向串联MEMS执行执行器，其由两个可动的弹性结构串联而成，可以在电流和磁场的作用下，利用洛伦兹力实现结构的双向运动。执行器只需很小的驱动电流，就能实现很大的位移。通过控制电流的方向，两个结构既可以实现相向运动，相互合并；也可以实现反向运动，相互分离。