多晶硅栅过分刻蚀的P型MOS管结构

摘要

一种多晶硅栅过分刻蚀的P型MOS管结构，包括硅衬底，硅衬底之上设置有经P型掺杂的源极和漏极；所述源极和所述漏极之上都生长有一层钛硅化物；所述源极和所述漏极之间有一下凹的刻蚀区，刻蚀区上生长有多晶硅栅；所述多晶硅栅和所述硅衬底之间有一层氧化硅隔离层；所述多晶硅栅的上表面覆盖有一层钛多晶硅化物；所述多晶硅栅的左右两侧有侧墙；在所述源极和所述漏极的外侧有下凹状的隔离氧化硅；所述隔离氧化硅和所述硅衬底之间设置有一层衬垫氧化硅。本发明在硅氧化栅的生长处设置有一个过刻蚀的下凹陷区，则硅氧化栅生长位置相对于源极和漏极处更靠下方，在相同的栅极尺寸下，栅极电压控制的灵敏度更大。