一种基于MEMS工艺的集成阵列式薄膜气体流量传感器及其加工方法

摘要

本发明公开一种基于MEMS工艺的集成阵列式薄膜气体流量传感器及其加工方法：从上到下依次包括薄膜掩蔽层、薄膜电阻结构、薄膜悬空隔离层和硅基底层，硅基底层的中央位置中开设有带有反应刻蚀的沟槽，薄膜悬空隔离层衬于硅基底层的上方，薄膜悬空隔离层上的四个方位角处均设有一个正方形的开口窗；薄膜电阻结构位于薄膜悬空隔离层的外表面，由n×n个相同的敏感测量单元构成并呈集成阵列式的薄膜电阻结构，每个敏感测量单元均由薄膜测温电阻和薄膜加热电阻构成。本发明兼具体积小，重量轻，成本低，可靠性高，功耗小，加工工艺方便等优点，控制敏感测量单元的数量能够控制传感器的测量精度，使其能够应对不同场合的需求，形成系列化产品。