一种基于MEMS工艺的二维薄膜气体流量传感器及其加工方法

摘要

本发明公开一种基于MEMS工艺的二维薄膜气体流量传感器及其加工方法：从上往下依次包括有薄膜掩蔽层、薄膜电阻结构、第一薄膜悬空隔离层、硅基底层和第二薄膜悬空隔离层；第一薄膜悬空隔离层衬于硅基底层上方，第二薄膜悬空隔离层衬于硅基底层下方，第一薄膜悬空隔离层的外表面上设有薄膜电阻结构；薄膜电阻结构包括薄膜测温电阻和薄膜加热电阻，薄膜加热电阻位于薄膜悬空隔离层的中心位置，薄膜测温电阻位于薄膜加热电阻延展方向的两侧；硅基底层上开设有反应刻蚀沟槽。本发明体积小，重量轻，精度高，响应速度快，功耗低，可批量生产等特点，预期可广泛应用于用于航空航天、交通、电力、冶金、节能减排等领域，具有极为广阔的应用前景。