公开/公告号CN105705679A
专利类型发明专利
公开/公告日2016-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人 LPE公司;
申请/专利号CN201480061427.0
申请日2014-11-06
分类号C23C16/458;C30B25/12;H01L21/687;
代理机构北京安信方达知识产权代理有限公司;
代理人张瑞
地址 意大利米兰巴兰扎泰
入库时间 2023-12-18 15:41:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-06-07
授权
授权
2016-12-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/458 申请日:20141106
实质审查的生效
2016-06-22
公开
公开
机译: 用于支撑平板显示器的衬托器,制造衬托器的方法以及具有衬托器的化学气相沉积装置
机译: 用于支撑半导体衬底的载体,用于在用于测试衬底测试的探针中的卡盘,具有控制装置,该控制装置减小了形成在用于衬底的支撑表面上的微结构化表面的粘附。
机译: 管例如蒸发器,具有厚度减小的金属条,在壳体的内表面上形成纵向凹槽,该凹槽具有一定宽度,以便容纳分隔单元的支撑部分