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具有自支撑三明治结构的射频滤波器设计

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现有体声波滤波器基本采用体硅加工技术.本文采用表面硅加工工艺和牺牲层技术制作体声波滤波器.利用多孔硅作为牺牲层,形成不需支撑膜的由上层金属电极,压电材料和下层金属电极构成的自支撑的三明治结构.避免了支撑膜对滤波器的影响.同时本文设计将每个谐振器作为一个自支撑单元,减少了工作在不同频率下谐振器的互相干扰.

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来源
《第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议》|2001年|129-132|共4页
会议地点昆明
作者
丛鹏; 刘燕翔; 任天令; 刘理天;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类滤波技术、滤波器;
关键词
射频滤波器; 工作原理; 加工工艺;

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