冲击稳健的集成多轴线MEMS陀螺仪

摘要

本发明的不同实施例将多个冲击稳健的单轴线MEMS陀螺仪集成到单个硅基板内，同时避免了典型地与设计防冲击陀螺仪的多驱动控制系统相关联的复杂性。在本发明的一些实施例中，防冲击三轴陀螺仪基于这样的驱动方案，该驱动方案使用旋转接合部将由两组驱动质量产生的驱动力分配至单独的传感器，由此简化了陀螺仪的控制。