一种集成SAR-ADC的电容式MEMS陀螺仪高精度模拟接口电路(英文)

摘要

提出一种为MEMS振动陀螺仪设计的驱动和检测接口电路。第一步采用通用级和TIA得到低噪声C／V转换，同时集成采样率1．25MS／s的14位SAR．ADCs，将驱动和感应模式的信号转换到数字域。采用这种策略，模拟电路的复杂性被降低，数字域的信号可以更精确操作。此接口适用于共振频率为3～15kHz的MEMS陀螺仪。此电路在0．18μm CMOS工艺流片。实验结果显示，在3．5kHz频率下，输出电容的噪声密度为0．03aF／√Hz。