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单片集成MEMS电容式压力传感器接口电路设计

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介绍了一种单片集成电容式压力传感器接口电路,该电路基于电容-频率转化原理,并通过差频消除了温度变化和工艺波动对电路性能的影响.使用Pspice对接12电路的误差特性进行了分析,并依据仿真结果确定了电路的相关参数.最后给出电路的测试结果,测试结果与仿真结果一致,在80～110 kPa量程内,接口电路的分辨率为3.77 Hz/hPa.

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来源
《第十届全国敏感元件与传感器学术会议》|2007年|502-504|共3页
会议地点北京
作者
黄晓东; 张筱朵; 王斌; 秦明; 黄庆安;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类微模组件;设计;
关键词
微机电系统; 单片集成; 电容接口电路; 压力传感器; 电路设计;

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