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黄晓东; 张筱朵; 王斌; 秦明; 黄庆安;
东南大学MEMS教育部重点实验室;
微机电系统; 单片集成; 电容接口电路; 电容-频率转化;
机译:MEMS电容式压力传感器采用后CMOS工艺与CMOS读出电路单片集成
机译:MEMS-CMOS LSI单片集成压力传感器,采用兼容CMOS的“布线MEMS工艺”
机译:浮点电容式MEMS加速度计的高精度数字接口电路设计
机译:与三轴纯氧化物电容式CMOS-MEMS加速度计单片集成的全差分,多路复用传感接口电路
机译:集成CMOS-MEMS惯性传感器的低噪声和低功耗接口电路设计
机译:基于集成模拟前端的数字闭环传感MEMS磁盘谐振陀螺仪电路设计
机译:采用siC集成电路双环振荡器的新型高温电容式压力传感器。
机译:电容式MEMS压力传感器的膜和形成电容式MEMS压力传感器的方法
机译:用于电容式MEMS压力传感器的膜和形成电容式MEMS压力传感器的方法
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