具有测试结构的半导体器件以及半导体器件测试方法

摘要

本发明涉及一种半导体器件，包括用于对半导体器件的结构的变化进行检测的测试结构(100)，测试结构(100)包括：第一供电轨(110)；第二供电轨(120)；环形振荡器(130)，耦合在第一供电轨(110)与第二供电轨(120)之间，环形振荡器(130)具有用于提供测试结果信号的输出(130)；以及单独可控制的晶体管(142)的阵列(140)，单独可控制的晶体管并行耦合在第一供电轨(110)与环形振荡器(130)之间。阵列(140)中各个晶体管(142)的输出电流的变化引起环形振荡器(130)中相应输出频率的变化。这给出了对前述结构变化的定性指示。通过包含基准电流源(160)能够得到更精确的结果，基准电流源(160)用于在对单独晶体管(142)的电流输出进行测量之前校准环形振荡器(130)。