公开/公告号JPH09113578A
专利类型
公开/公告日1997-05-02
原文格式PDF
申请/专利权人 FUJITSU LTD;
申请/专利号JP19950300166
发明设计人 YAMASHITA TATSURO;MOTOOKA SHUNSUKE;MATSUDA TATSUHARU;TAKENAKA MASAJI;TAKAHASHI HIDEICHIRO;HARADA SHIGEKI;FUJIMORI KUNIJI;KODAMA KUNIO;MIZUKOSHI MASATAKA;
申请日1995-11-17
分类号G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;H01L21/321;
国家 JP
入库时间 2022-08-22 03:33:04