具有高精度阈值电压的MOS晶体管的制造方法

摘要

一种具有高精度阈值电压的MOS晶体管的制造方法：在制作MOS晶体管之前，先在该晶体管的基体表面注入与该基体杂质类型相同的杂质，然后高温扩散推进所注入的杂质以在所述基体表面形成加浓层，最后在所形成的加浓层上按常规工艺制造MOS晶体管。该方法能获得高精度的阈值电压Vt，从而提高了电路的一致性和合格率。