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公开/公告号CN101101934A
专利类型发明专利
公开/公告日2008-01-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200610111261.6
发明设计人 赵德刚;杨辉;梁骏吾;李向阳;龚海梅;
申请日2006-08-17
分类号H01L31/105;H01L31/0224;H01L31/18;
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2023-12-17 19:37:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2009-07-15
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-02-27
实质审查的生效
2008-01-09
公开
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