微电子机械器件的计算机仿真设计方法

摘要

一种微电子机械器件的计算机仿真设计方法。该设计方法包括：部件库(结构部件和运动部件)的建立，运动部件除结构部件所具有的参数外，还要有与结构部件相对应的动态运动模型及其解。虚拟工艺设计，本发明采用专家系统的方法实现虚拟工艺技术，其中工艺模型表现为专家知识，部件三维形状获取对应推理机的推理过程，三维形状显示作为解释机。虚拟运行，通过虚拟运行与设计中期望的行为进行对比，达到行为级验证的目的。本发明利用计算机在虚拟环境中进行仿真设计，同时用三维可视化的手段对MEMS器件的运动特性进行观察和评测，在虚拟运行中即可发现一些其它手段难以发现的现象，可以比较容易的改变不同部件，不需进行实际加工，即可考察其性能。