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张霞;
北京广播学院,物理教研室,北京,100024;
微电子机械系统器件; 物理学;
机译:用于声学应用的三维(3D)微流体基微电子机械系统(MEMS)的添加剂制造
机译:微电子和MEMS结构以及封装器件中的表面和界面处的粘附-剥离现象
机译:PolyMUMPs MEMS器件,用于测量水性介质中单细胞的机械刚度PolyMUMPs MEMS器件,用于测量水性介质中单细胞的机械刚度
机译:利用微电子机械系统(MEMS)加强核电厂安全性分析中的未来用途
机译:基于MEMS(微电子机械系统)的微流体平台,用于磁性细胞分离。
机译:DNA印刷集成多路复用器驱动微电子机械系统头(IDMH)和微流体流量估计
机译:关于微电子机械系统mEms中的卡西米尔效应
机译:微电子机械系统(mEms)器件开发用于主动冷却和温度控制
机译:用于耦合电路的两点的连接装置包括第二微电子机械系统(MEMS)继电器,该第二微电子机械系统(MEMS)继电器可以串联或并联连接至第一MEMS继电器,或者可以连接至第一MEMS继电器的电容器板。
机译:MEMS --CMOS一种在微电子机械系统中集成互补金属氧化物半导体氧化物CMOS器件的方法在牺牲层之上使用平整表面的MEMS器件
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