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何小元; 康新; 衡伟; 黄庆安;
东南大学MEMS教育部重点实验室;
微电子机械系统; 微电子; 光测力学;
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机译:聚合物薄膜的CVD:在传感器,生物技术,微电子/有机电子,微流体,MEMS,复合材料和膜中的应用
机译:生产半导体微电路的某些方面:穆尔定律,半导体国际技术图以及整体微电子生产现代技术中的主要挑战
机译:利用微电子机械系统(MEMS)加强核电厂安全性分析中的未来用途
机译:基于MEMS(微电子机械系统)的微流体平台,用于磁性细胞分离。
机译:术前测试在选择永久性微电子植入物盲人患者中的价值。
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机译:微电子和机械系统(mEms)在交通基础设施管理中的适用性;最终的评论。 1月1日至3月3日至30日
机译:用于耦合电路的两点的连接装置包括第二微电子机械系统(MEMS)继电器,该第二微电子机械系统(MEMS)继电器可以串联或并联连接至第一MEMS继电器,或者可以连接至第一MEMS继电器的电容器板。
机译:微电子机械系统(MEMS)光学调制器,MEMS光学模块,MEMS光显示系统和MEMS光学调制方法
机译:光学微电子机械系统元件,制造相同方法和衍射型光学微电子机械系统元件
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