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王渭源; 鲍敏杭; 赖宗声; 陆德仁; 沈绍群; 王效东; 王云珍;
中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室;
复旦大学电子工程系;
华东师范大学电子科学技术系;
微机械技术; 微电子机械系统; 微机械器件;
机译:基于微电子机械系统技术的平面呼吸微直接甲醇燃料电池组
机译:用于声学应用的三维(3D)微流体基微电子机械系统(MEMS)的添加剂制造
机译:微系统技术-微机械,微电子学和软件的融合:整体不仅仅是其各个部分的总和
机译:基于衍射光学的多功能光控制方案,用于微电子和微机械部件和器件的激光钻孔,切割和连接技术
机译:基于MEMS(微电子机械系统)的微流体平台,用于磁性细胞分离。
机译:使用微机械模具部分固化的PDMS键合技术和多次浇铸来创建用于微透镜阵列的混合微流控芯片
机译:微电子机械系统和硅微加工技术
机译:微电子机械系统(mEms)器件开发用于主动冷却和温度控制
机译:用于微电子机械系统(MEMS)器件以改善执行器性能的成形电极及其制造方法
机译:用于制造构件,尤其是微机械的和/或微流体的和/或微电子的构件的方法以及构件
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