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第4章微纳米机械振子的应用——微流系统中的力探测
4.3.1 微流喷口的位置探测
第7章总结与展望
林劭春;
中国科学技术大学;
机译:用于声学应用的三维(3D)微流体基微电子机械系统(MEMS)的添加剂制造
机译:通过微电子机械系统应用原子层沉积法保护二氧化ha的涂层
机译:微电子机械系统应用中的氟化化学对3C-SiC膜进行变压器耦合等离子体蚀刻
机译:面向应用的微纳米电力机械系统
机译:光学纳米和微电子机械系统-从等离子互连到超高效显示器。
机译:DNA印刷集成多路复用器驱动微电子机械系统头(IDMH)和微流体流量估计
机译:参数驱动非线性耦合振子的响应 应用于微纳米机械谐振器阵列
机译:微电子机械系统(mEms)规模生物启发导航传感器的Haltere力学和机械逻辑。
机译:微电子机械系统传感器中使用的质量和使用相同的三维微电子机械系统传感器中的质量
机译:微电子机械系统元件的制造方法及微电子机械系统元件的制造方法
机译:用于耦合电路的两点的连接装置包括第二微电子机械系统(MEMS)继电器,该第二微电子机械系统(MEMS)继电器可以串联或并联连接至第一MEMS继电器,或者可以连接至第一MEMS继电器的电容器板。
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