21 世纪的关键技术——微电子机械系统

摘要

阐述了微电子机械系统的定义、内容、特点、发展现状、应用前景及其对国民经济、科学技术、国防和人民生活所具有的重要意义，介绍了目前国际上微电子机械系统所取得的成就及未来的发展趋势。