Modeling of a Micro-Electronic Mechanical Systems (MEMS) Deformable Mirror for Simulation and Characterization.

著录项

• 作者

  Mueller, M. C.;

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• 作者单位

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• 年度 2016
• 页码 1-55
• 总页数 55
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  Microelectromechanical systems; Deformable mirrors; Wavefronts; Adaptive optics; Mems(micro-electronic mechanical systems); Model design; Mirror model; Model simulation results; Model user applicability;

  机译：微机电系统;可变形反射镜;波前;自适应光学; mems（微电子机械系统）;模型设计;镜像模型;模型仿真结果;模型用户适用性;