国外微电子机械系统的关键技术

摘要

正 在 MEMS 的研究中,材料的选用是关键之一,根据各构件在系统中的功能不同,选用不同的材料,如硅具有质优、耐腐的特点,且具有弹性,一般作为超微构件;高分子聚酰亚胺和金属钨、钼、镍、铜、金等,可作为结构材料、石英和一些半导体 ZnO、PZT、氧化钛、氧化铅的传动材料,甚至还需要采用一些具有记忆功能的材料。当前,超微构件加工技术主要有二类: