用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术

摘要

现阶段我国的科学技术不断发展，社会也在日益进步，微机械技术也在不断发展，微机械技术是致力于研究、生产微机械器件以及微电子机械系统的主要技术。下面本文调查分析了几个微机械技术单位在一段时间内微机械技术方面主要的研究成果，重点意在介绍计数单位首创的准三维加工技术、硅三维结构无掩模腐蚀技术和硅低温直接键合技术，这也是我国微机械器件和微电子机械系统中最主要的几项技术，促进我国微机械单位的不断发展和我国科学技术的进步。