用于大区域等离子体加强化学气相沉积的气体扩散喷头

摘要

本发明提供一种气体分配板的多个实施例，该气体分配板是用以在一处理室散布气体。在一实施例中，气体分配板包括：一扩散板，其具有一上游侧和一下游侧；和复数个气体通道，其穿过扩散板的该上游侧和下游侧之间。该复数个气体通道的至少一者具有：一正圆柱形，其是延伸自上游侧的长度的一部分；及一同轴圆锥形，其是该扩散板的剩余长度。该圆锥部分的上游端具有与该正圆柱形相同的直径，而该圆锥部分之下游端具有一较大的直径。该气体分配板相对地容易制造和提供好的室洁净率、好的薄膜沉积均匀性和好的薄膜沉积率。气体分配板亦具有较少的室洁净残留物留在扩散表面上，及较少的洁净残留物被并入所沉积的薄膜。