用场效应管和双极基极多晶硅层制造多晶硅电容器的方法

摘要

一种在衬底上同时制作多晶－多晶电容器、MOS晶体管、双极晶体管的方法，它包含下列步骤：在衬底上淀积和图形化第一多晶硅层，以构成所述电容器的第一平板电极和MOS晶体管的电极，以及在衬底上淀积和图形化第二多晶硅层，以构成所述电容器的第二平板电极和双极晶体管的电极。