公开/公告号CN1601703A
专利类型发明专利
公开/公告日2005-03-30
原文格式PDF
申请/专利权人 旺宏电子股份有限公司;
申请/专利号CN03154403.7
发明设计人 黄致远;
申请日2003-09-27
分类号H01L21/304;H01L21/306;B08B3/00;
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人黄健
地址 台湾省新竹科学工业园区
入库时间 2023-12-17 16:04:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2007-06-27
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2005-06-01
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-03-30
公开
公开
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